ליטוש ננו נקרא ליטוש פלזמה, שהוא סוג חדש של תהליך ליטוש ידידותי לסביבה. פלזמה, המכונה גם המצב הרביעי של החומר, היא תופעת פריקת גזים אלקטרומגנטית המייננת חלקיקי גז, הכוללים אטומים, מולקולות, קבוצות של אטומים, יונים ואלקטרונים. פלזמה פירושה שחומר הליטוש מסיס במים בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה, אך בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה, אלקטרונים יברחו מהגרעין וייגמרו החוצה, והגרעין יוצר יון דייקן. כאשר יונים אלו מגיעים לכמות מסוימת, הם יכולים להפוך למצב פלזמה, האנרגיה שלהם גדולה מאוד, וכאשר פלזמות אלו מתחככות באובייקט המיועד ללטש, זה יגרום לאובייקט להשיג אפקט משטח בהיר.
גודל חלקיקי התחמוצת של נוזל הליטוש המשמש בליטוש ננו קטן והקשיות חזקה, כך שלא נוצרות שריטות במהלך הליטוש, ואפקט הליטוש טוב. בשימוש נרחב באלקטרוניקה, ריהוט, רפואה, רכב, תעופה וחלל ותחומים אחרים.
יתרונות:
-הגנה על הסביבה, פסולת נוזל ניתן לפרוק ישירות מבלי לגרום לזיהום סביבתי;
-פעולה פשוטה, עם ציוד בקרה אוטומטי מיוחד;
-עלויות עיבוד מתקזזות, חוסכות צריכת חומרים;
-יעילות גבוהה וזמן ליטוש קצר;
-איכות הליטוש טובה, אך פני השטח של המוצר משיגים אפקט מראה עקבי.
